2138cn太阳集团根据客户需求提供全面的定制化解决方案，与行业内领先的JEL、 ASUZAC等公司具有广泛的合作关系
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SCR3160CS

3轴圆柱坐标型洁净机械手臂

使用环境：洁净间内的大气环境 手臂：单臂 到达距离：340mm（手臂第3关节中心） 升降轴最大行程：200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm / 550mm / 600mm 可搬运质量：3.0kg（手臂第3关节处基准）

产品特点

■ 适用于半导体生产设备内部及检测设备等的晶圆搬运
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产品咨询

产品详情

  • 机械手臂标准臂长：100mm、130mm、160mm、200mm
  • 适应设备需求可以选择底座固定方式或者法兰固定方式
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用2相步进电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板
  • 晶圆固定方式：真空吸附式、下托式、边缘夹持式、伯努利非接触式
  • 手指材质：CFRP （碳纤维）、铝合金、高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 可以针对被搬运物体种类、设备布局等要求提供最优选择的手指

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