2138cn太阳集团根据客户需求提供全面的定制化解决方案，与行业内领先的JEL、 ASUZAC等公司具有广泛的合作关系
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STVCR4160S

4轴双臂真空洁净机械手臂

使用环境：洁净间内的真空环境 手臂：双臂 到达距离：310mm（手臂第3关节中心到达距离） 升降轴最大行程：50mm 可搬运质量：2.0kg以下（手臂第3关节处基准）

产品特点

■ 真空4轴圆柱坐标型机械手臂STVCR4000系列 ■ 可用于真空环境下300mm以内的各种搬运物
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产品咨询

产品详情

  • 采用双臂结构，缩短晶圆交换时间
  • 真空密封采用磁流体密封装置
  • 手臂内部装有排气用过滤器
  • 采用开环循环控制步进电机，是高安全性、高稳定性系列产品

     

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