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LVHR3440S

3轴圆柱坐标型洁净机械手臂——玻璃基板

使用环境：洁净间内的大气；温度15℃～40℃；工艺室温度 ：15℃～50℃以下 手臂：单臂 到达距离：880mm（手臂第3关节中心基准） 升降轴最大行程：20mm / 32mm / 40mm / 60mm / 320mm 可搬运质量：10.0kg以下（手臂第3关节处基准）

产品特点

■ 对应玻璃基板搬运的3轴圆柱坐标型真空洁净机械手臂LVHR3000系列 ■ 适用于液晶面板生产设备及检测设备等的玻璃基板搬运
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产品咨询

产品详情

  • 机械手臂标准臂长：330mm、440mm、500mm、550mm
  • 可搬运质量：手臂第3关节处基准10.0kg以下
  • 手臂关节处使用磁流体密封装置
  • 真空密封：磁流体密封装置和波纹管
  • 提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速、高精度地搬运玻璃基板
  • 手指材质：CFRP（碳纤维）、铝合金、高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 可以针对被搬运物体种类、设备布局等要求提供最优选择的手指

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