2138cn太阳集团根据客户需求提供全面的定制化解决方案，与行业内领先的JEL、 ASUZAC等公司具有广泛的合作关系
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STCR4130SN-300-CM-X1000

4轴水平移动洁净机械手臂

被搬运物：最大尺寸为300mm的晶圆 洁净度：ISO标准Class1（驱动结构内部独立排气条件下）

产品特点

■ 本机械手臂在圆柱坐标洁净机械手臂的基础上增加了水平轴，最长传输距离可达3000mm ■ 水平轴可以采用底部安装或侧面安装的方式
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产品咨询

产品详情

  • 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
  • 晶圆固定方式：可选真空吸附式、下托式、边缘夹持式、伯努利非接触式等
  • 手指材质：CFRP（碳纤维）、铝合金、高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 可根据客户设备实际空间、定制手臂长度及水平轴、升降轴行程
  • 可搬运重量：手臂第3关节处基准3.0kg以下

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