2138cn太阳集团根据客户需求提供全面的定制化解决方案，与行业内领先的JEL、 ASUZAC等公司具有广泛的合作关系
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STCR4200SN-1300-PM-X520

龙门式升降轴洁净机械手臂

被搬运物：最大尺寸为300mm的晶圆 洁净度：ISO标准Class1（驱动结构内部独立排气条件下）

产品特点

■ 本机械手臂在圆柱坐标洁净机械手臂的基础上增加了升降轴及水平轴，升降轴行程最大可达 2000mm
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产品咨询

产品详情

  • 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
  • 晶圆固定方式：可选真空吸附式、下托式、边缘夹持式、伯努利非接触式等
  • 手指材质：CFRP（碳纤维）、铝合金、高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 可根据客户设备实际空间，定制手臂长度及水平轴、升降轴行程
  • 可搬运重量：手臂第三关节处基准3.0kg以下

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