2138cn太阳集团根据客户需求提供全面的定制化解决方案，与行业内领先的JEL、 ASUZAC等公司具有广泛的合作关系
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SWCR3160CS

3轴圆柱坐标洁净机械手臂——可适应微水环境

使用环境：洁净间内的大气环境 手臂：单臂 到达距离：312mm（手臂第3关节中心到达距离） 升降轴最大行程：200mm / 300mm 可搬运质量：3.0kg以下（手臂第3关节处基准）

产品特点

■ 防水3轴圆柱坐标型机械手臂SWCR3000系列（配备300mm晶圆翻转机构+边缘夹持机构） ■ 在保护等级IP64 LSI半导体生产工艺条件下，能够在酸性、碱性环境下搬运半导体晶圆
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产品详情

  • 手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性
  • 手臂关节部位防水结构使用V型密封圈
  • 零件之间的结合面采用Viton材质的密封条
  • Z轴的防水结构可以使用蛇腹管
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用2相步进电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
  • 晶圆固定方式: 真空吸附式、下托式、边缘夹持式
  • 可以针对搬运物体、客户设备布局的实际情况提供最优选择的手指

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