2138cn太阳集团根据客户需求提供全面的定制化解决方案，与行业内领先的JEL、 ASUZAC等公司具有广泛的合作关系
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SVCR3330S

3轴圆柱坐标洁净机械手臂

使用环境：洁净间内的真空环境 手臂：单臂 到达距离：640mm（手臂第3关节中心到达距离） 升降轴最大行程：60mm 可搬运质量：10.0kg以下（手臂第3关节处基准）

产品特点

■ 真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系列 ■ 双手指结构可以在真空腔室内搬运4.0kg以下的托盘 ■ 相比LVHR系列机械手臂具有较好的性价比优势
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产品咨询

产品详情

  • 手臂关节处使用磁流体密封装置
  • 真空密封：磁流体密封装置和波纹管提高
  • 洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用2相步进电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速、高精度地搬运半导体晶圆
  • 可以选配2相步进电机规格
  • 手指材质：CFRP （碳纤维）、铝合金、高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 晶圆固定方式：下托式、利用晶圆自重的边缘夹持式
  • 可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优选择的手指

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