2138cn太阳集团根据客户需求提供全面的定制化解决方案，与行业内领先的JEL、 ASUZAC等公司具有广泛的合作关系
2138cn太阳集团根据客户需求提供全面的定制化解决方案，与行业内领先的JEL、 ASUZAC等公司具有广泛的合作关系
scroll down
+
  • 19_SVCR3260_僇僢僩1(1765771170200).png

SVCR3260

3轴圆柱坐标型真空洁净机械手臂

使用环境： 真空部：温度 15℃～50℃； 驱动结构内部：大气环境温度15℃～40℃ 手臂：单臂 到达距离：520mm（第3关节中心距离） 升降轴最大行程:20mm / 40mm 可搬运质量:2.0kg（第3关节换算）

产品特点

■ 真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系列 ■ 相比SVHR系列机械手臂，可搬运质量提升2倍，具有较好的性价比优势 ■ 另外还保持了和SVHR系列机械手臂的兼容性，方便客户对设备进行升级改造
相关产品
产品咨询

产品详情

  • 机械手臂标准臂长：160mm、190mm、260mm、330mm
  • 手臂关节处使用磁流体密封装置
  • 真空密封：磁流体密封装置和波纹管
  • 提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器配备
  • 动作监视器
  • 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用2相步进电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速、高精度地搬运半导体晶圆
  • 可以选配2相步进电机规格
  • 手指材质：CFRP （碳纤维）、铝合金、高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式
  • 可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优选择的手指

相关视频

推荐产品