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GTVCR5330

5轴真空水平多关节型洁净机械手臂

使用环境：洁净间内的大气；温度15℃～40℃；工艺室温度最大450℃ 手臂：单臂 到达距离：635mm（臂第3关节中心基准） 升降轴最大行程：60mm 可搬运质量：4.0kg（手臂第3关节处基准）

产品特点

■ 5轴真空水平多关节型洁净机械手臂GTVCR5000系列 ■ 能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局，能够灵活地适应不同类型设备的多种布局 ■ 通过优化机械手臂的空间尺寸，有利于减小真空腔室的内部容积
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产品咨询

产品详情

  • 机械手臂标准臂长：280mm、330mm
  • 手臂关节处使用磁流体密封装置
  • 真空密封：磁流体密封装置以及波纹管
  • 提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器
  • 双手指机构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
  • 手指材质：CFRP （碳纤维）、铝合金、高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式，利用O型胶圈的摩擦力来保持位置
  • 可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指

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