2138cn太阳集团根据客户需求提供全面的定制化解决方案，与行业内领先的JEL、 ASUZAC等公司具有广泛的合作关系
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KHR3480-290-AM

直动手臂型洁净型机械手臂

大气使用环境下，可一次性搬运25片300mm晶圆

产品特点

■ 可一次性传输25片晶圆，大幅缩短传输时间 ■ 搭载旋转轴，可以对应多片盒布局设置
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产品咨询

产品详情

  • 控制通讯方式：RS232C
  • 手指材质：高纯度陶瓷 
  • 晶圆固定方式：下托式、边缘夹持
  • 全轴采用绝对值值编码器规格的AC伺服电机，无需电池

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