产品详情
- 适用于超级洁净间要求的4轴圆柱坐标洁净机械手臂
- 在保持高性价比和高速传输特性的基础上，解决了步进电机常见的丢步问题，适用于2inch～300mm 晶圆传输的新型双臂机械手臂
- 采用即使在负载发生突变或者加减速过大的情况也能够避免电机丢步现象的闭环控制方式，有效地提高了机械手臂的可靠性
- 电机配备绝对值编码器，机械手臂能够在任何情况下知道自己的当前位置，缩短了机械手臂各动作轴寻找自身位置原点的时间
- 绝对值编码器为机械式，不需要更换电池
- 可以和旧型号的本司产品兼容（安装尺寸，性能互换），方便客户对现有设备的升级改造
- 手臂第3关节处可承受3.0kg重量（包含腕部机构模块，手指，晶圆的质量）
- 机械手臂标准臂长：100mm、130mm、160mm、200mm
- 可根据设备布局选择基座固定方式或法兰固定方式
- 可选伯努利手指
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