2138cn太阳集团根据客户需求提供全面的定制化解决方案，与行业内领先的JEL、 ASUZAC等公司具有广泛的合作关系
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GTFR5280

5轴水平多关节型洁净机械手臂——可搬运300mm晶圆

使用环境：洁净间内的大气环境 手臂：单臂 到达距离：553mm（手臂第3关节中心到达距离） 升降轴最大行程：320mm 可搬运质量：4.0kg（手臂第3关节处基准）

产品特点

■ 单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能，提高传片效率
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产品详情

  • 机械手臂可以单独对应3个FOUP（280mm臂长）
  • 双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
  • 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机，无需电池
  • 晶圆固定方式：真空吸附式、下托式、边缘夹持式
  • 可以针对被搬运物体种类、设备布局等要求提供最优选择的手指

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