2138cn太阳集团根据客户需求提供全面的定制化解决方案，与行业内领先的JEL、 ASUZAC等公司具有广泛的合作关系
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GTCR5280-320-AM

5轴水平多关节型洁净机械手臂——200/300mm晶圆

使用环境：洁净间内的大气环境 手臂形式：单臂双手指 到达距离：553mm（手臂第3关节中心到达距离） 升降轴最大行程：320mm 可搬运质量：4.0kg（手臂第3关节处基准）

产品特点

■ 单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能，减少晶圆传输时间 ■ 搭载绝对值编码器AC伺服电机，无需执行原点搜寻动作
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产品详情

  • 工作行程范围：

           机械臂行程（R 轴）*：正向 833 mm，反向 - 273 mm
           旋转角度（θ 轴）：335°

  • 可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
  • 具备运动状态监控功能
  • RS232C 与并行光电 IO 为标配控制接口
  • 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
  • 晶圆固定方式：真空吸附式
  • 洁净度：ISO 14644 Class 2
  • 机器人主体重量：约53kg

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