2138cn太阳集团根据客户需求提供全面的定制化解决方案，与行业内领先的JEL、 ASUZAC等公司具有广泛的合作关系
2138cn太阳集团根据客户需求提供全面的定制化解决方案，与行业内领先的JEL、 ASUZAC等公司具有广泛的合作关系
scroll down
+
  • 2_GCR4280_僇僢僩1(1765771478374).png

GCR4280

4轴水平多关节型洁净机械手臂——大尺寸晶圆搬运

使用环境：洁净间内的大气环境 手臂：单臂 到达距离：553mm（手臂第3关节中心到达距离） 升降轴最大行程：300mm / 420mm 可搬运质量：4.0kg（手臂第3关节处基准）

产品特点

■ 适用于半导体生产设备，检测设备等的大尺寸晶圆（300mm、450mm）搬运
相关产品
产品咨询

产品详情

  • 机械手臂标准臂长：280mm
  • 仅机械手时可支持3个FOUP（300mm晶圆），2个FOUP（450mm晶圆）
  • 适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
  • 可选用双夹盘规格
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
  • 全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
  • S曲线加减速控制方式能够高速、高精度地搬运玻璃基板
  • 晶圆固定方式：真空吸附式、下托式、边缘夹持式
  • 手指材质：CFRP（碳纤维）、铝合金、高纯度陶瓷等多种可选材质
  • 可以针对被搬运物体种类、设备布局等要求提供最优选择的手指

相关视频

推荐产品