2138cn太阳集团根据客户需求提供全面的定制化解决方案，与行业内领先的JEL、 ASUZAC等公司具有广泛的合作关系
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SVAL3001

晶圆校准器——真空校准器

适用于真空环境下通过边缘夹持方式，对硅片及托盘进行定位

产品特点

■ 能够在真空环境下通过边缘夹持方式对托盘（化合物半导体、硅片晶圆等）进行高速、高精度的定位
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产品咨询

产品详情

  • 可搬运质量：4.0kg
  • 真空环境下的传感器和本体的一体化设计，具有集成度高，易于安装的优点
  • 真空密封：磁流体密封装置和波纹管
  • 配备动作监视器
  • 控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
  • 自动定位功能能够根据托盘中的晶圆摆放情况，自动生成所有晶圆的位置数据

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